Anhang 54 Herstellung von Wafern und Solarzellen
(Fundstelle: BGBl. I 2004, 1179 - 1180;
bzgl. der einzelnen Änderungen vgl. Fußnote)
A Anwendungsbereich
(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Herstellung von Wafern für Halbleiterbauelemente und von Solarzellen einschließlich der zugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung stammt.
(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus indirekten Kühlsystemen und aus der Betriebswasseraufbereitung einschließlich Retentaten aus der Reinstwasseraufbereitung durch Membranverfahren.
B Allgemeine Anforderungen
Die Schadstofffracht ist so gering zu halten, wie dies nach Prüfung der Verhältnisse im Einzelfall durch folgende Maßnahmen möglich ist:
- 1.
Einsatz Wasser sparender Spültechnik (z.B. getaktete Spülung, Tauchspritzspültechnik, Leitfähigkeitsweiche),
- 2.
Mehrfachnutzung geeigneter Spülwässer nach Aufbereitung mittels Verfahren wie Kreislaufführung über Ionenaustauscher, Membrantechnik,
- 3.
Mehrfachnutzung geeigneter Spülwässer durch Weiterverwendung auch in anderen Bereichen, z.B. als Kühl- oder Brauchwasser zur Dampferzeugung, in Rückkühlwerken, in Galvaniken, Leiterplattenfertigung,
- 4.
Kreislaufführung von Abluftwaschwasser,
- 5.
Weiterverwenden oder Abgabe von Prozessbädern (z.B. Säuren, organische Lösungsmittel) zur Verwertung.
C Anforderungen an das Abwasser für die Einleitungsstelle
An das Abwasser wird für die Einleitungsstelle in das Gewässer eine Anforderung für die Giftigkeit gegenüber Fischeiern von GEi = 2 gestellt.
D Anforderungen an das Abwasser vor Vermischung
An das Abwasser werden vor Vermischung mit anderem Abwasser folgende Anforderungen gestellt: