Anhang 35 Chipherstellung

(Fundstelle: BGBl. I 2022, 90 - 93)

A Anwendungsbereich

(1) Dieser Anhang gilt für Abwasser, dessen Schadstofffracht im Wesentlichen aus der Chipherstellung stammt, einschließlich

1.: der dazugehörigen Vor-, Zwischen- und Nachbehandlung,
2.: der Maskenherstellung und der Teilereinigung, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist, und
3.: des betriebsinternen Recyclings von Wafern, sofern das Abwasser eine vergleichbare Zusammensetzung wie das Abwasser aus der Chipherstellung aufweist.

(2) Dieser Anhang gilt nicht für Abwasser aus

1.: indirekten Kühlsystemen,
2.: der Aufbereitung von Betriebswasser, einschließlich Reinstwasser, sowie
3.: der Herstellung von Silizium-Einkristallen und dem Vereinzeln der Einkristalle zu Wafern.

B Allgemeine Anforderungen

(1) Abwasseranfall und Schadstofffracht sind so gering zu halten, wie dies durch folgende Maßnahmen möglich ist:

1.

Verlängerung der Nutzungsdauer von Prozesslösungen,

2.

Minimierung des Spülwasserbedarfs durch

a)

den Einsatz wassersparender Spültechniken wie

	Qualifizierte Stichprobe oder 2-Stunden-Mischprobe
Aluminium	mg/l	2,0
Organisch gebundener Kohlenstoff, gesamt (TOC)	mg/l	20
Chemischer Sauerstoffbedarf (CSB)	mg/l	60
Biochemischer Sauerstoffbedarf in 5 Tagen (BSB₅)	mg/l	15
Fluorid, gelöst	mg/l	30
Phosphor, gesamt	mg/l	1,0
Ammoniumstickstoff (NH₄-N)	mg/l	10
Nitritstickstoff (NO₂-N)	mg/l	2,0
Eisen	mg/l	3,0
Abfiltrierbare Stoffe (suspendierte Stoffe)	mg/l	15
Giftigkeit gegenüber Fischeiern (G_Ei)		2

	Qualifizierte Stichprobe oder 2-Stunden-Mischprobe^* Bei Chargenanlagen beziehen sich alle Anforderungen auf die Stichprobe. mg/l
Antimon	0,50
Adsorbierbare organisch gebundene Halogene (AOX)^** Für AOX gilt der Wert in der Stichprobe.	0,10
Arsen	0,20
Barium	3,0
Blei	0,50
Cer	0,50
Chrom, gesamt	0,20
Cobalt	1,0
Germanium	0,50
Gold	0,50
Hafnium	0,50
Kupfer	0,50
Molybdän	0,50
Nickel	0,50
Palladium	0,50
Platin	0,50
Praseodym	0,50
Ruthenium	0,50
Sulfid, leicht freisetzbar	1,0
Titan	1,0
Wolfram	2,0
Zink	2,0
Zinn	2,0
Zirkonium	0,50