Die Prüfung gliedert sich in die Prüfungsteile:

1.

Betriebliche Mikrotechnologie-Prozesse,

2.

Mikrotechnologie-Fachaufgaben,

3.

Mitarbeiterführung und Personalmanagement.

Die einzelnen Prüfungsteile können in beliebiger Reihenfolge geprüft werden; dabei ist mit dem letzten Prüfungsteil spätestens zwei Jahre nach dem ersten Prüfungstag des ersten Prüfungsteils zu beginnen.